特許

J-GLOBAL ID：200903006157386259

熱分解窒化硼素被覆ボートを使用する金属の抵抗加熱方法

発明者： ジョゼフ・マイケル・モリス
出願人/特許権者： アドバンスト・セラミクス・コーポレイション
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119228
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306585
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 グラファイト容器の使用寿命を延長することのできる抵抗加熱方法の確立。【構成】 グラファイト本体12と熱分解窒化硼素コーティング14を有するグラファイト容器10を使用してのアルミニウム、銅、亜鉛及び錫蒸着のための金属抵抗加熱方法。装入物をグラファイト容器内に堆積し、装入物を完全に蒸発せしめるに十分の制御された短時間(好ましくは2分未満)グラファイト本体に一定の電流及び可変電圧の電力を印加し、熱分解窒化硼素コーティングを横切っての熱サイクルを制御するようグラファイト容器に印加される電力を変更し、その場合電力を反復的に中断して各電圧の印加の間に冷却期間を提供し、冷却期間中にグラファイト容器に新たな金属装入物を導入する。

請求項（抜粋）：

15〜75mm2 の範囲の最大断面積と203mm(8インチ)の最大長さを有するグラファイト本体と0.25〜0.51mm(0.010〜0.020インチ)の範囲の厚さの熱分解窒化硼素コーティングを有するグラファイト容器を使用する抵抗加熱方法であって、6〜200mgの範囲の所定の重量を有する、アルミニウム、銅、亜鉛及び錫から成る群から選択された金属装入物を窒化硼素コーティングにより金属装入物とグラファイト本体とを分離する状態で前記グラファイト容器内に堆積する段階と、金属装入物を完全に蒸発せしめるに十分の制御された短時間にわたり電流を前記グラファイト本体を通して直接流すようにして該グラファイト本体に一定の電流及び4〜25Vの範囲の可変電圧の電力を印加する段階と、前記熱分解窒化硼素コーティングを横切っての熱サイクルを制御するよう前記グラファイト容器に印加される電力を変更し、その場合電力を反復的に中断して各電圧の印加の間に電流が実質流れない最小冷却期間を提供する段階と、該冷却期間中に前記グラファイト容器に新たな金属装入物を導入する段階とを包含する熱分解窒化硼素コーティングを有するグラファイト容器を使用する抵抗加熱方法。

IPC (2件)：

C23C 14/26 ,  C23C 14/24