特許

J-GLOBAL ID：200903006162361108

エネルギーフィルタを含む集束イオンビームカラム

発明者： リー ワン
出願人/特許権者： シュルンベルジェ テクノロジーズ,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-384490
公開番号（公開出願番号）：特開2001-222969
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 帯電粒子のエネルギーの広がりを抑えてシステムの色収差を減らすことにより電流密度を高めた集束帯電粒子ビーム装置を提供する。【解決方法】 集束イオンビーム(FIB)などの帯電粒子ビームの解像度をイオンビームの経路の中にエネルギーフィルタを挿入することによって最適化する。このエネルギーフィルタは所望のエネルギー範囲のエネルギーを有するイオンを通過させその所望のエネルギー範囲の外のイオンを分散させ除去する。イオンビームのエネルギーの広がりを抑えることによって、そのイオンビームの色収差を減らす。その結果、イオンビームの電流密度が高まる。このエネルギーフィルタは、例えば、質量フィルタとしてでなくエネルギーフィルタとして最適化したWien型フィルタで構成できる。エネルギーの広がりを生じさせるために、例えば、二つの磁極片の間に配置した四極構造体を用いて磁界中に四極電界と双極電界との組合せ電界を生ずるようにしたエネルギーフィルタを用いることができる。

請求項（抜粋）：

帯電粒子源と、前記帯電粒子源の下流側に配置され、帯電粒子のビームのエネルギーの広がりを、それら帯電粒子のうち特定のエネルギー範囲のエネルギーを備える帯電粒子を通過させ前記エネルギー範囲外のエネルギーを備える帯電粒子を分散させることによって減らすエネルギーフィルタとを含む帯電粒子ビーム装置。

IPC (3件)：

H01J 37/05 ,  G01N 27/62 ,  H01J 37/317

FI (3件)：

H01J 37/05 ,  G01N 27/62 G ,  H01J 37/317 D