特許

J-GLOBAL ID：200903006163096106

微細隔壁の形成方法

発明者： 中西 幹育
出願人/特許権者： 鈴木総業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-299692
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125221
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 従来の形成方法が問題としていたファインパターン化、大画面化を可能とする新たなる微細隔壁の形成方法を提供する。【解決手段】 本発明の微細隔壁の製造方法は、ガラス基板上に高さ100μm〜数100μmの金属層を微細ストライプ状または微細ドット状に形成する工程と、該金属層の存在しない空域部分に隔壁材料を埋め込む工程と、埋め込んだ隔壁材料を硬化させる工程と、その後に該金属層を除去する工程とを具えて成ることなどを特徴とする。そして、このような発明特定事項を手段として前記課題の解決を図り、重ね刷りすることもなく、一度に所望高さの微細隔壁を得ることができる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に高さ100μm〜数100μmの金属層を微細ストライプ状または微細ドット状に形成する工程と、該金属層の存在しない空域部分に隔壁材料を埋め込む工程と、埋め込んだ隔壁材料を硬化させる工程と、その後に該金属層を除去する工程とを具えて成ることを特徴とする微細隔壁の形成方法。

IPC (6件)：

H01J 9/02 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/105 501 ,  G03F 7/26 ,  G03F 7/40 521 ,  H01J 17/46

FI (6件)：

H01J 9/02 F ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/105 501 ,  G03F 7/26 ,  G03F 7/40 521 ,  H01J 17/46