特許

J-GLOBAL ID：200903006163099083

カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡

発明者： 鈴木克之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194762
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028511
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 非接触原子間力顕微鏡において、カンチレバーの発振振幅を直接正確に求められるようにする。【解決手段】 非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを加振して固有周波数で発振させた状態で試料1とカンチレバー2間の距離を変化させたときの距離変化に対するカンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差からカンチレバーの発振振幅を求めるものである。

請求項（抜粋）：

非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを加振して固有周波数で発振させた状態で試料とカンチレバー間の距離を変化させたときの距離変化に対するカンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差からカンチレバーの発振振幅を求めることを特徴とするカンチレバー振幅測定方法。