特許

J-GLOBAL ID：200903006171117813

研磨パッドの表面形状測定装置

発明者： 箱守 駿二 ,  栗田 保
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 天野 正景 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331749
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139316
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 定盤に貼り付けられた研磨パッドの表面位置を測定するに際し、実際の加工時と同じだけの単位面積当たりの力すなわち圧力を加えながら測定することにより、加工時に現れる実効的表面位置すなわち実効的平坦度を測定することを課題とする。【解決手段】 ウェイトWによって単位面積当たりの荷重が調整された円形平板状のプローブ29を研磨パッド3の表面に押し付けながら測定する。プローブ29の変位は、プローブ29が取り付けられたプローブ軸22の変位を変位センサ26によって検出することにより検出される。ウェイトWは、実際の加工時と同じだけの単位面積当たりの力を研磨パッド3に与えるように調整される。

請求項（抜粋）：

研磨パッドが貼り付けられた研磨定盤の研磨パッドの表面形状を測定するための研磨パッドの表面形状測定装置において、この表面形状測定装置は、スライダと、上記スライダを上記研磨定盤の研磨パッドを横切って移動するように案内するガイドレールと、上記スライダを上記ガイドレール上で移動させるためのスライダ移動手段と、上記スライダに設けられ、このスライダ上を上下移動可能にガイドされるプローブ軸支持体と、上記プローブ軸支持体を上下移動させるための支持体移動手段と、上記プローブ軸支持体に上下動可能に支持されたプローブ軸と、上記プローブ軸に設けられ、上記研磨パッドの表面に接触するための平板状のプローブと、上記プローブ軸支持体に設けられ、このプローブ軸支持体に対する上記プローブ軸の上下方向の変位を検出するための変位センサと、被加工物が研磨加工されるときにこの被加工物にかけられる単位面積当たりの力と等しい単位面積当たりの加圧力を上記プローブに加えるためのプローブ加圧手段とを備えたことを特徴とする研磨パッドの表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

G01B 21/20 Z ,  H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/306 B

Fターム (18件)：

2F069AA54 ,  2F069BB01 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ06 ,  2F069LL04 ,  2F069MM13 ,  2F069MM21 ,  2F069MM26 ,  2F069MM32 ,  5F043AA01 ,  5F043DD16 ,  5F043FF07 ,  5F043GG10