特許
J-GLOBAL ID：200903006184541010
多種質量フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-249300
公開番号（公開出願番号）：特開2002-177814
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：
【要約】【課題】 異なる質量-電荷比の帯電粒子をそれぞれの異なる領域へ導く軌道に効果的に拘束して分別収集する多種プラズマの多種質量フィルタであって、比較的簡単に製造でき、使用が容易で、比較的に費用効果の良好な多種質量フィルタを提供する。【解決手段】 質量-電荷比に応じて粒子を分離するための多種質量フィルタは、さまざまな質量-電荷比を有する粒子(M<SB>1</SB><M<SB>2</SB><M<SB>3</SB>)を含む多種プラズマを受け入れるチャンバを含む。軸線を定めているそのチャンバ内で半径方向の電界が磁界と交差されて(E×B)、粒子(M<SB>1</SB>,M<SB>2</SB>,M<SB>3</SB>)をそれぞれの軌道でそれぞれ第1、第2および第3の領域へ移動させる。1実施例では、フィルタは、a<SB>z</SB><SP>2</SP>B<SB>z</SB>が分離質量の式M<SB>cz</SB>=ea<SB>z</SB><SP>2</SP>B<SB>z</SB><SP>2</SP>/(8V<SB>ctr</SB>)で一定に保持されるように構成される。この実施例では、重い粒子M<SB>3</SB>だけが第3の領域へ排出され(M<SB>3</SB>>M<SB>c3</SB>)、中間的な粒子M<SB>2</SB>だけが第2の領域へ排出される(M<SB>2</SB>>M<SB>c2</SB>)。
請求項（抜粋）：
質量に応じて粒子を分離する多種質量フィルタであって、チャンバと、比較的小さな質量-電荷比の粒子(M1)、中間的な質量-電荷比の粒子(M2)、および比較的大きい質量-電荷比の粒子(M3)を含み、前記チャンバ内で所定の衝突密度よりも小さな密度を有する多種プラズマを与える手段と、前記粒子(M1)の各々に関する第1の軌道、前記粒子(M2)の各々に関する第2の軌道、および前記粒子(M3)の各々に関する第3の軌道をそれぞれ確立するために、また前記第1の軌道上の前記粒子(M1)の各々を前記チャンバから第1の領域へ、前記第2の軌道上の前記粒子(M2)の各々を前記チャンバから第2の領域へ、および前記第3の軌道上の前記粒子(M3)の各々を前記チャンバから第3の領域へそれぞれ向かわせて、前記粒子(M1,M2,M3)を質量-電荷比に応じて分離するために、前記チャンバ内で磁界と交差する電界(E×B)を形成する手段とを含む多種質量フィルタ。
IPC (4件)：
B03C 1/30
, B01J 19/08
, G01N 27/62
, H01J 49/28
B03C 1/30 Z
, B01J 19/08 E
, G01N 27/62 B
, H01J 49/28
4G075AA03
, 4G075AA65
, 4G075BA08
, 4G075BB05
, 4G075BD12
, 4G075CA42
, 4G075CA47
, 5C038HH05
