特許
J-GLOBAL ID:200903006198699350
プラズマ処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
間宮 武雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-160077
公開番号(公開出願番号):特開平8-330286
出願日: 1995年06月01日
公開日(公表日): 1996年12月13日
要約:
【要約】【目的】 処理チャンバの周囲を導電体で取り囲む構成において、処理チャンバの周辺の電気的、磁気的環境を均一化させ、基板面におけるプラズマダメージ分布を均一化させる。【構成】 処理チャンバ10及び誘導コイル18の全体を、基板Wの中心点を通る鉛直軸を対称軸とした形状の導電性カバー34により包囲し、高周波電源64の帰還側導電経路の始点位置を、基板の中心点を通る鉛直軸の線上もしくは近辺とした。
請求項(抜粋):
絶縁性材料によって壁面が形成され、ガスの導入部及び排出部を有し、内部に被処理基板を水平姿勢で収容して密閉可能な処理チャンバと、この処理チャンバの外面側に配設されたプラズマ発生部材と、このプラズマ発生部材に、インピーダンス整合器を介挿して導電線で接続された高周波電源とを備えたプラズマ処理装置において、前記処理チャンバ及びプラズマ発生部材の全体を、処理チャンバの内部に配置される被処理基板の中心点を通る鉛直軸を対称軸とした内面形状を有し導電性材料によって形成された導電性カバーにより包囲するとともに、前記高周波電源の帰還側導電経路の始点位置を、前記処理チャンバの内部に配置される被処理基板の中心点を通る前記鉛直軸の線上もしくはその近辺としたことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (5件):
H01L 21/3065
, B01J 19/08
, C23F 4/00
, H01L 21/304 341
, H05H 1/46
FI (5件):
H01L 21/302 B
, B01J 19/08 E
, C23F 4/00 A
, H01L 21/304 341 D
, H05H 1/46 L
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