特許

J-GLOBAL ID：200903006200620295

イオン分析計

発明者： 石橋 啓次
出願人/特許権者： 日電アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318424
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129001
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 スパッタリング装置等、実際の装置へ容易に取り付けることができ、分析するイオンの収率を従来よりも高くすることのできるイオン分析計を提供することを目的としている。【構成】 イオンの種類及びそのエネルギーを分析するためのエネルギーフィルター2a及び四極子質量分析器1で構成されるイオン分析計である。エネルギーフィルター2aに入射するイオンの軌道3と、出射したイオンの軌道3を平行且つ同方向にする。エネルギーフィルターは、同軸円筒型、平行平板型、同心半球型などの静電偏向型エネルギーフィルターを点対称に配置して構成する。

請求項（抜粋）：

イオンの種類及びそのエネルギーを分析するためのエネルギーフィルター及び四極子型質量分析器で構成されるイオン分析計において、前記エネルギーフィルターに入射するイオンの軌道と、出射したイオンの軌道を平行且つ同方向にしたことを特徴とするイオン分析計。

IPC (3件)：

H01J 49/48 ,  H01J 37/05 ,  H01J 49/42

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-042195
  
• 特開昭63-276861
  
• 特開昭51-035388