特許

J-GLOBAL ID：200903006209623203

圧電材料を用いたプリンタヘッドの製造方法及びプリンタヘッド

発明者： 徐 用 教 ,  金 星 鎮 ,  尹 大 成 ,  羅 敬 遠 ,  金 宣 希 ,  鄭 在 祐
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-298569
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117983
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 圧電板を低温焼結により形成する。【解決手段】 前記秤量されたPbO、ZrO2及びTiOを混合し、850°Cの温度でか焼してPZT粉末の単結晶化を行う。次いで、PZT粉末とフリットガラスの混合粉末を用意し、エポキシ樹脂を添加して混合粉末をペースト化する。前記ペーストを用いて圧電バンパターンを作成し、950度以下で焼結し、圧電板を作成する。焼結温度を低下させることにより省エネルギー化及び特性の安定化を達成でき、安価な低融点金属を電極材料として使用可能になる。さらに、拡散防止膜の膜厚を最小化することから、剥離など、機械的な性質も向上される。

請求項（抜粋）：

圧電材料を用いたプリンタヘッドの製造方法であって、(a)PbO、ZrO2及びTiOを適当量だけ秤量するステップと、(b)前記秤量されたPbO、ZrO2及びTiOを混合し、実質的に850°Cの温度で2時間か焼してPb(ZrxTi1-x)O3単結晶化を行うステップと、(c)前記Pb(ZrxTi1-x)O3単結晶にフリットガラス粉末を適当量入れ、混合かつ粉砕してPb(ZrxTi1-x)O3及びフリットガラスの混合粉末を用意するステップと、(d)前記Pb(ZrxTi1-x)O3及びフリットガラスの混合粉末にエポキシ樹脂を加え、ペースト化を行うステップと、(e)前記Pb(ZrxTi1-x)O3及びフリットガラスの混合ペーストで圧電板パターンを作製するステップと、(f)前記圧電板パターンを実質的に950°C以下の温度で焼結し、圧電板を形成するステップと、を含むことを特徴とする圧電材料を用いたプリンタヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H