特許

J-GLOBAL ID：200903006214231259

走査光学系の光学特性測定装置

発明者： 清水 研一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233842
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056250
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】 走査光学系の光学特性の測定において、測定時間の短縮、測定の自動化、及び測定精度の向上を図った測定装置を提供する。【解決手段】 本発明の走査光学系の光学特性測定装置は、複数の受光部1a,1bの副走査方向の高さを揃えた光センサ群1,2と、該光センサ群を任意の測定面上へ変位させるセンサ位置変位手段3〜6と、上記回転多面鏡7の回転角度を制御する光スポット位置変位手段8と、上記光センサ群1,2の受光信号に基づいてセンサ位置変位手段3〜6及び光スポット位置変位手段8を駆動し、所定の測定位置にて任意の受光部に光スポットを入射させ、該受光部の出力から光学特性を求める制御演算手段と、を備えた構成である。

請求項（抜粋）：

回転多面鏡によりレーザ走査可能な走査光学系から出射するレーザ光束を、被走査面と等価な測定面上に光スポットとして集光させ、上記測定面上の所望の主走査位置等における光学特性を測定する装置であって、複数の受光部を有し、且つ該複数の受光部の副走査方向の高さを揃えた光センサ群と、該光センサ群を任意の測定面上へ変位させるセンサ位置変位手段と、上記回転多面鏡の回転角度を制御し測定面上の光スポット位置を変位させる光スポット位置変位手段と、上記光センサ群からの受光情報信号に基づいて上記センサ位置変位手段及び上記光スポット位置変位手段を駆動し、所定の測定位置にて任意の受光部に光スポットを入射させ、該受光部の出力から光学特性を求める制御演算手段と、を備えたことを特徴とする走査光学系の光学特性測定装置。

IPC (3件)：

G01J 1/04 ,  G01B 11/00 ,  G01J 1/02

FI (3件)：

G01J 1/04 D ,  G01B 11/00 Z ,  G01J 1/02 L

Fターム (30件)：

2F065AA03 ,  2F065AA26 ,  2F065AA31 ,  2F065AA39 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB09 ,  2G065BA04 ,  2G065BA34 ,  2G065BB07 ,  2G065BB21 ,  2G065BB22 ,  2G065BB23 ,  2G065BB49 ,  2G065BC13 ,  2G065BC19 ,  2G065BC35 ,  2G065DA05 ,  2G065DA17