曲面体の表面状態検査方法および基板検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308304
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222598
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】拡散反射性を持つ曲面体が認識対象となる場合にも、安定した検査を行うことができるようにする。【解決手段】 R,G,Bの各色彩光を発光する光源8,9,10が異なる仰角方向に配置された投光部4を具備する基板検査装置において、ティーチング時に、はんだ付け部位を含む画像領域について、R,G,Bの各階調をメモリ13に登録された調整倍率を用いて調整した後、その調整処理後の各階調からそれぞれ白色成分に対応する階調を除去する。さらにこの白色成分除去処理後の画像を、最も優勢な色成分が除去処理前よりも強調され、かつ処理前の画像の明度が回復するように補正した後、CRT表示部20に表示する。

請求項（抜粋）：

検査対象面に対する仰角が異なる複数の方向からそれぞれ異なる色彩光を照射した照明状態下で、前記検査対象面上の曲面体からの反射光を撮像するステップと、前記撮像により得られた画像中の曲面体像を含む画像領域において、各色彩が混合して生じる白色成分の強度を画素毎に抽出する処理と、各画素における色成分の強度をそれぞれその画素について抽出された白色成分の強度に対応する値だけ減衰させる処理とを実行するステップと、前記減衰処理後の各画素について、それぞれその画素における各色成分のうち最も強度の大きい色成分が減衰処理前に比べて強調され、かつ前記減衰処理によりその画素における各色成分の強度の総和に生じた損失が補われるように、各色成分の強度を変更する処理を実行するステップと、前記各色成分の強度の変更処理後の画像における各色彩の分布状態に基づき、前記曲面体の表面状態の検査に関わる処理を実行するステップとを、実行するようにした曲面体の表面状態検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , G06T 1/00 305 , G06T 5/00 100 , H05K 3/34 512

FI (5件)：

G01N 21/956 B , G01B 11/30 A , G06T 1/00 305 Z , G06T 5/00 100 , H05K 3/34 512 B

Fターム (54件)：

2F065AA49 , 2F065BB05 , 2F065CC25 , 2F065CC26 , 2F065EE04 , 2F065FF42 , 2F065GG17 , 2F065GG23 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065NN13 , 2F065PP12 , 2F065PP15 , 2F065QQ03 , 2F065QQ05 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065RR05 , 2F065RR08 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EA17 , 2G051EA24 , 2G051EB01 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA19 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB01 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CE11 , 5B057CE17 , 5B057DA04 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5E319AA06 , 5E319CC22 , 5E319CD53

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公平6-1173号公報
特公平6-001173
カラー画像の彩度強調方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128570 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (2件)

特公平6-001173
カラー画像の彩度強調方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128570 出願人：日本電気株式会社

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