研磨布

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270529
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090836
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】研磨布において、硬質の樹脂は合成繊維との接着性が十分でないことから耐磨耗性が不十分であり、樹脂が硬質であるが故に、ドレッシング作業によって表面の粗さが増加し、被研磨物であるシリコンウエハーの表面粗さが生じる欠点をも有している。【解決手段】本発明は、以上の課題を解決すべく種々検討し、合成繊維からなる不織布と熱可塑性樹脂から成る研磨布において、不織布と同一組成の熱可塑性樹脂が、熱可塑性樹脂比率30重量%以上含む組成にて構成された研磨布によって本課題を解決した。

請求項（抜粋）：