特許

J-GLOBAL ID：200903006227059846

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： 番場 敏夫 ,  平野 孝
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077602
公開番号（公開出願番号）：特開2002-278051
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 硬化後の膜の色が淡く、また硬化後の熱処理プロセスにおいても変色が少ないポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記(1)で示されるフェノール性水酸基を有するポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部とリン系の化合物(C)1〜20重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

一般式(I)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部とリン系の化合物(C)0.5〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (8件)：

G03F 7/004 502 ,  C08G 69/42 ,  C08K 5/23 ,  C08K 5/49 ,  C08L 77/00 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/004 502 ,  C08G 69/42 ,  C08K 5/23 ,  C08K 5/49 ,  C08L 77/00 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (61件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB45 ,  2H025CC01 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DB01 ,  4J001DB02 ,  4J001DC05 ,  4J001DC14 ,  4J001DC16 ,  4J001DD01 ,  4J001DD05 ,  4J001EB02 ,  4J001EB34 ,  4J001EB35 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB44 ,  4J001EB55 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EC02 ,  4J001EC43 ,  4J001EC44 ,  4J001EC55 ,  4J001EC56 ,  4J001EC65 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001ED24 ,  4J001ED35 ,  4J001ED36 ,  4J001ED45 ,  4J001ED46 ,  4J001ED47 ,  4J001ED48 ,  4J001ED49 ,  4J001ED50 ,  4J002CL031 ,  4J002EQ016 ,  4J002EW047 ,  4J002EW067 ,  4J002EW117 ,  4J002GP03