特許

J-GLOBAL ID：200903006227134864

有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料

発明者： 齋 篤 ,  佐藤 正光 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321625
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157851
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 熱的分解特性に優れ、成膜速度の高い有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料を提供する。【解決手段】 (1,5-ジメチル-1,5-シクロオクタジエニル)ジエチル白金と電子供与体化合物とを混合して得られる有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料。【効果】 電子供与体化合物:AがPtに配位したPt(IV)化合物が生成する。この電子供与体化合物により、メチル基、エチル基、Pt上の電子密度が補填され、適度な熱安定性及び高揮発性と、熱的易分解性を有するものとなる。【化12】

請求項（抜粋）：

下記構造式?@で表される(1,5-ジメチル-1,5-シクロオクタジエニル)ジエチル白金と電子供与体化合物とを混合して得られる有機金属化学蒸着による白金薄膜形成用原料。【化1】

IPC (2件)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/00

FI (2件)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/00 F