特許
J-GLOBAL ID：200903006230651020
クリーンルーム用マニホールドバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064433
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281037
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内において使用されるマニホールドバルブ内から漏出する空気がクリーンルーム内に漏出しないようにすることである。【構成】 複数の電磁弁3とこれが組付けられたマニホールド2とによりバルブユニット4が形成され、バルブユニット4は、カバー部材23により形成された閉塞収容空間25内に収容されている。この閉塞収容空間25と連通する集塵ポート26を有し、この集塵ポート26はホース27によりクリーンルームの外部に開口されている。したがって、バルブユニット4から漏出した空気やゴミ等は、排出路27によりクリーンルームの外部に排出されることになる。
請求項（抜粋）：
複数の電磁弁とそれぞれの電磁弁が取り付けられ内部に前記それぞれの電磁弁の給排ポートに連通する給排流路が形成されたマニホールドとによりバルブユニットが形成され、清浄空気が保持されたクリーンルーム内に配置されるクリーンルーム用マニホールドバルブであって、前記バルブユニットに一体に取り付けられた台座部にカバー部材を締結して当該カバー部材と前記台座部とにより閉塞された閉塞収容空間を形成し、当該収容空間内と連通する集塵ポートを有し、当該集塵ポートを前記クリーンルームの外部に開口させる排出路を前記集塵ポートに接続したことを特徴とするクリーンルーム用マニホールドバルブ。
IPC (3件)：
F16K 27/12
, F16K 31/06 305
, F16K 51/00
