特許
J-GLOBAL ID：200903006233153218
表面弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090874
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 変換損失の少ない表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層2と、圧電体薄膜3とを備え、くし型電極3が超電導体から形成されていることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生させこれを取出すための1対の電極とを備える表面弾性波素子において、前記電極の少なくとも一方が、超電導体から形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。
IPC (2件)：
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