特許

J-GLOBAL ID：200903006233786830

微細球体供給装置

発明者： 本多 位行 ,  相川 マサ枝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159093
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314324
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】微細球体を信頼性高く供給し得る微細球体供給装置を実現し難かつた。【解決手段】微細球体を吸着保持し、搬送して供給対象物の供給対象位置に供給する微細球体供給装置において、多孔質物質からなる本体部の一部表面上に、供給対象物の供給位置に対応させて単数又は複数の開口部を有する薄膜層が積層形成された吸着ヘツドと、吸着ヘツドの本体部に負圧を供給する負圧源とを設け、負圧源から供給される負圧に基づいて、吸着ヘツドの薄膜層の開口部を介して微細球体を吸着保持するようにしたことにより、微細球体を転写性良く吸着保持し得ると共に、より微細な球体をより狭ピツチで吸着保持することができ、かくして微細球体を狭ピツチで信頼性高く供給し得る微細球体供給装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

微細球体を吸着保持し、搬送して供給対象物の供給対象位置に供給する微細球体供給装置において、多孔質物質からなる本体部の一部表面上に、上記供給対象物の上記供給位置に対応させて単数又は複数の開口部を有する薄膜層が積層形成された吸着ヘツドと、上記吸着ヘツドの上記本体部に負圧を供給する負圧源とを具え、上記負圧源から供給される負圧に基づいて、上記吸着ヘツドの上記薄膜層の上記開口部を介して上記微細球体を吸着保持することを特徴とする微細球体供給装置。

IPC (2件)：

B23K 3/06 ,  H05K 3/34 505

FI (2件)：

B23K 3/06 H ,  H05K 3/34 505 A