特許
J-GLOBAL ID：200903006240442306
シリコンスライス台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261979
公開番号（公開出願番号）：特開平11-099518
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 低コストで容易に製造することができ、インゴットブロックの大型化に十分対応可能な強度を有し、またインゴットブロックとの接着性にも優れ、しかもシリコンスライス台に要求される他の性能、例えば耐油性、絶縁性、低い熱膨張係数等が一層改善されるシリコンスライス台を提供する。【解決手段】 アクリル樹脂または不飽和ポリエステル樹脂に、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウムおよびシリカからなる群から選ばれた少なくとも1種の無機フィラーを配合して得られた成形材料を成形して得られるシリコンスライス台1。
請求項（抜粋）：
アクリル樹脂に、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウムおよびシリカからなる群から選ばれた少なくとも1種の無機フィラーを配合して得られた成形材料を成形して得られるシリコンスライス台。
IPC (2件)：
B28D 7/04
, H01L 21/304 311
B28D 7/04
, H01L 21/304 311 B
