特許
J-GLOBAL ID：200903006247363231
混合ガス自動発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-183396
公開番号（公開出願番号）：特開平10-024226
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 任意濃度の混合ガスを自動的に混合して発生させ、且つ、混合ガスの割合や濃度を自動的に変更し得る混合ガス自動発生装置を提供する。【解決手段】 一端に所定濃度の原ガスがそれぞれ供給される複数の供給ラインと、該複数の供給ラインの他端が一端に接続され他端より所定の混合ガスが出力される混合ラインとを具備する混合ガス自動発生装置において、前記それぞれの供給ラインの前記一端側から減圧弁、マスフローコントローラ、電磁弁の順に配置された供給ラインと、前記マスフローコントローラ、電磁弁に動作信号を送るシーケンサとを具備したことを特徴とする混合ガス自動発生装置である。
請求項（抜粋）：
一端に所定濃度の原ガスがそれぞれ供給される複数の供給ラインと、該複数の供給ラインの他端が一端に接続され他端より所定の混合ガスが出力される混合ラインとを具備する混合ガス自動発生装置において、前記それぞれの供給ラインの前記一端側から減圧弁、マスフローコントローラ、電磁弁の順に配置された供給ラインと、前記マスフローコントローラ、電磁弁に動作信号を送るシーケンサとを具備したことを特徴とする混合ガス自動発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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