特許
J-GLOBAL ID：200903006251318755
感光剤およびこれを含む感光性組成物並びにパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130104
公開番号（公開出願番号）：特開平9-319080
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 塗布時に有機溶媒を用い必要がなく、保存安定性が良好で、解像性も十分に良好な水溶性感光剤を提供する。【解決手段】 下記一般式で表される感光剤、およびこの感光剤を含有させて感光性組成物とし、さらにこれを用いてパターンを形成する。【化1】(式中、R1が二価の有機基を表し、R2およびR3がそれぞれアルキル基、アリール基またはアラルキル基を表すか、またはR1、R2およびR3が一緒になって含窒素芳香族複素環を表し、R4はアルキル基またはアラルキル基を表し、X-は陰イオンを表す)
請求項（抜粋）：
下記一般式で表される感光剤。【化1】(式中、R1が二価の有機基を表し、R2およびR3がそれぞれアルキル基、アリール基またはアラルキル基を表すか、またはR1、R2およびR3が一緒になって含窒素芳香族複素環を表し、R4はアルキル基またはアラルキル基を表し、X-は陰イオンを表す)
IPC (2件)：
FI (2件)：
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