特許
J-GLOBAL ID：200903006251761365
ダイシング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281547
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124882
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ径がCPUに誤って登録されたり、或は同一カセット内に同種異サイズのウェーハが混入されていても、誤ったアライメントやダイシングが遂行されないようにした、ダイシング方法を提供する。【構成】 ダイシング予定のウェーハサイズをCPUに登録するステップと、ダイシングすべきウェーハをチャックテーブルに搬送する際又は搬送した後、そのウェーハが前記CPUに登録されているダイシング予定のウェーハサイズであるか否かを確認するステップと、ダイシング予定のウェーハサイズでない場合はエラーを表示するステップ又は計測したウェーハサイズをCPUに再登録するステップと、を少なくとも含む。ウェーハサイズの確認又は検出は、パターンマッチングか、形状認識手段か、レーザ光又は超音波等による非接触式物体認識手段か、触針式等の接触式物体認識手段かのいずれかによる。
請求項（抜粋）：
ダイシング予定のウェーハサイズをCPUに登録するステップと、ダイシングすべきウェーハをチャックテーブルに搬送する際又は搬送した後、そのウェーハが前記CPUに登録されているダイシング予定のウェーハサイズであるか否かを確認するステップと、ダイシング予定のウェーハサイズでない場合はエラーを表示するステップと、を少なくとも含むダイシング方法。
FI (2件)：
H01L 21/78 C
, H01L 21/78 Q
