特許

J-GLOBAL ID：200903006256063003

角速度センサと加速度センサ

発明者： 山下 光洋 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007211
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196682
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】小型の振動式角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】単結晶シリコン基板の異方性エッチング特性を利用し、4本の先端荷重(錘102)形片持梁103を十字に配置し、その重心(結合部104)を両持梁105で支持する振動体を形成する。励振は錘102端部の上下に形成した電極110、115を用い静電気力で行い、角速度は容量変化から検出する。

請求項（抜粋）：

少なくとも二つの錘と前記錘を各々支持する梁を有する振動体を備え 、前記振動体は面方位(110)のシリコン単結晶基板により形成され、かつ前記二組の梁は、前記シリコン基板に垂直で各々平行でない二種類の (111)面を用いるものであり、前記シリコン基板と平行かつ各(111)面に垂直な方向に可動性を有することを特徴とする角速度または加速度を検出するセンサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09