特許
J-GLOBAL ID：200903006266794812
試料位置決め機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-005275
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082397
出願日： 1991年01月21日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 たわみが生じ易い薄板状の試料も、たわみを生じさせずに高精度に位置決めすることができて、位置決め後の試料に対する検査等の処理精度を向上させること。【構成】 前記試料を載せる基台と、試料を前記基台の所定位置に密着した状態に押える付勢手段とを備えるとともに、前記付勢手段は、真空吸引力、圧縮空気の吹き付け、磁力による吸引力等を利用して、前記試料と機械的な接触をしないで、試料を付勢する構成とすることによって、試料にたわみが発生することを防止する。
請求項（抜粋）：
薄板状の試料を該試料に対して検査等を行う装置の所定位置に位置決めする試料位置決め機構であって、前記試料を載せる基台と、試料を前記基台の所定位置に密着した状態に押える付勢手段とを備える構成とし、前記基台には、薄板状の試料の載置面に先端を当接して試料の載置面に直交する方向の位置決めをなす三つの突起部と、これら突起部に載置面を当てた試料の外周を当接させることによって試料の載置面に沿う方向の移動を拘束する隅部とを装備し、前記付勢手段は、前記隅部を形成している部材上に設けた穴からの真空吸引によって、試料を前記突起部および隅部に密着させる構造としたことを特徴とする試料位置決め機構。
IPC (2件)：
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