特許

J-GLOBAL ID：200903006270290675

液晶表示体用プローブカード

発明者： 飯野 伸治
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121012
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281459
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 プローブカードの接触端子同士の経年変化による接触端子の位置ずれを直すためのX,Y方向調整機構を提供する。【解決手段】 LCD基板の周縁部に配列された多数の電極の一部に対応する複数のバンプ接触端子12と、これらのバンプ接触端子12に接続されたプリント配線を有するプリント配線基板13と、このプリント配線基板13を支持する支持体15と、この支持体15が複数取り付けられた取付体17とを備え、上記支持体15は、プリント配線基板13を支持する第1支持体18と、第1支持体18に連結された第2支持体19と、第2支持体19に対して第1支持体18をX、Y方向へ移動させて第1支持体18のX、Y方向位置を調整するX、Y方向調整機構とを有する。

請求項（抜粋）：

液晶表示体基板の周縁部に配列された多数の電極の一部に対応する複数の接触端子と、これらの接触端子に接続されたプリント配線を有するプリント配線基板と、このプリント配線基板を支持する支持体と、この支持体が複数取り付けられた取付体とを備え、上記各接触端子と上記各電極とを電気的に接触させて上記液晶表示体基板の電気的検査を行う液晶表示体用プローブカードにおいて、上記支持体は、上記プリント配線基板を支持する第1支持体と、第1支持体に連結された第2支持体と、第2支持体に対して第1支持体をX、Y方向へ移動させて第1支持体のX、Y方向位置を調整するX、Y方向調整機構とを有することを特徴とする液晶表示体用プローブカード。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/28

FI (5件)：

G02F 1/13 101 ,  G01R 1/06 E ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/28 K