特許
J-GLOBAL ID：200903006270879873
ガラス導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017229
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215929
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】伝送損失が小さく、しかも導波路の形状が高精度なガラス導波路を製造する。【構成】基板1上にガラス微粒子堆積と透明ガラス化とによりフッ素をドープした石英ガラスのバッファ層2を形成する。バッファ層2上に電子ビーム蒸着またはイオンスパッタリングにより純粋の石英ガラス膜3を形成する。石英ガラス膜3から余分な部分を除去してコア層4を形成する。バッファ層2、コア層4を覆ってフッ素をドープした石英ガラスのクラッド層5をガラス微粒子堆積と透明ガラス化により形成する。
請求項（抜粋）：
石英ガラスまたはシリコンからなる基板上にガラス微粒子の堆積工程と透明ガラス化工程とによりフッ素をドープした石英ガラスのバッファ層を形成し、バッファ層上に電子ビームによる真空蒸着またはイオンによるスパッタリングにより純粋の石英ガラス膜を形成し、このガラス膜から余分な部分を除去してコア層を形成した後、上記バッファ層およびコア層を覆ってフッ素をドープした石英ガラスのクラッド層をガラス微粒子の堆積工程と透明ガラス化工程とにより形成するようにしたことを特徴とするガラス導波路の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 6/12
, C03B 19/01
, C03B 19/14
