特許
J-GLOBAL ID：200903006274419796
撥水性微小プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061036
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262036
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 作業環境の湿度の影響を少なくする。【構成】 導電性の探針2を有する走査型プローブ顕微鏡用の微小プローブにおいて、導電性の探針2の最表面に撥水性の有機分子膜4を設ける。
請求項（抜粋）：
導電性の探針を有する走査型プローブ顕微鏡用の微小プローブにおいて、前記導電性の探針の最表面に撥水性の有機分子膜を設けたことを特徴とする撥水性微小プローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
