特許

J-GLOBAL ID：200903006275433768

走査トンネル顕微鏡

発明者： 小嶋 秀夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (8件)： 菅井 英雄 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-018407
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233065
出願日： 2003年01月28日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】二次電子検出器を用いることなく、簡単な構成で、トンネル電流と、試料から放出された二次電子の検出を可能とする。【解決手段】プリアンプ4の演算増幅器5の非反転入力端子には、試料3から二次電子を放出させるためのバイアス電圧を与えるバイアス電源6が接続され、これにより探針1の直流電位は当該バイアス電位となる。バイアス電源6により探針1に負のバイアス電圧を印加して探針1と試料3との距離を近づけると、探針1にはトンネル電流が流れ、試料3には、互いに逆向きのトンネル電流と、二次電子放出に基づく二次電子電流が流れる。これらの電流はそれぞれプリアンプ4、8により増幅され、差動増幅器7からはトンネル電流に対応したトンネル電圧が出力され、差動増幅器10からは二次電子電流に対応した二次電子電圧が出力される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

探針に接続されるプリアンプを介して、試料から二次電子を放出させるためのバイアス電圧を印加する ことを特徴とする走査トンネル顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N13/12 ,  G01B7/34 ,  G01B21/30 ,  G01N13/10

FI (4件)：

G01N13/12 A ,  G01B7/34 Z ,  G01B21/30 ,  G01N13/10 F

Fターム (17件)：

2F063AA41 ,  2F063BA25 ,  2F063BA26 ,  2F063CA10 ,  2F063CA34 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DB06 ,  2F063DC08 ,  2F063EB01 ,  2F063LA11 ,  2F063LA23 ,  2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査トンネル顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-325212   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭62-285005
  
• トンネル電流検出装置における疑似電流防止装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-263746   出願人：日本電子株式会社