特許
J-GLOBAL ID：200903006289110198
レーザー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278703
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051238
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【構成】 パルス状のレーザー光を発振するレーザー発振装置1と、反射率と透過率が1:1であるハーフミラー2と、ミラー3とを有しており、レーザー発振器1より発振されたレーザーパルスをハーフミラー2で2分割し、一方を被照射面4へ、他の一方をミラー3によって構成される光路へ導き、この他の一方のレーザーパルスを時間差をもってハーフミラー2に導くことによって、再び2分割しその一方を被照射面に他の一方をミラー3で構成される光路に再び導き、時間差をもってレーザーパルスを漸次被照射面に対して照射することを特徴とするレーザー装置。
請求項（抜粋）：
パルスレーザー光を複数に分割し、該分割されたパルスレーザー光がパルス幅以上の時間差をもって被照射面に照射されるように、分割されたそれぞれのパルスレーザー光の光路に光路差を設けたことを特徴とするレーザー装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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