特許
J-GLOBAL ID：200903006292902720
半導体ウエハの固定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-016998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007073
出願日： 1994年01月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】キャパシタンスの変化を監視すると共に、ウェハが静電吸引力によって支持体に固定される半導体ウエハの固定方法及びその装置を提供すること。【構成】キャパシタンス感知回路114 が、ウェハ支持体内の2つの電極22,24 間のキャパシタンスを監視する。支持体上にウェハ12が存在しない場合、キャパシタンスはある範囲内にあり、ウェハが存在するが固定されていない場合、キャパシタンスは第2範囲内にあり、ウェハが静電吸引力によって固定保持されている場合、キャパシタンスは第3範囲内にある。感知されたキャパシタンスは周波数に変換されるから感知しやすく、ウェハの載置を確認し、次にウェハの固定を確認するために利用しやすい直流電圧出力に変換される。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ(12)をウェハ支持体(14,16,18,20) に固定するための方法であって、a)ウェハ支持体(14,16,18,20) 上にウェハ(12)が存在することを、支持体に取り付けられた2つの電極(22,24) 間のキャパシタンスを測定することによって感知する段階と、b)2つの電極(22,24) 間の測定キャパシタンスが、ウェハ(12)をウエハ支持体(14,16,18,20) 上に載置したことを示す値に達した時、前記ウェハと支持体の間に静電吸引力を発生させることによってウェハを支持体に固定する段階と、c)静電吸引力が発生している時に2つの電極(22,24) 間のキャパシタンスの変化を監視することによって、ウェハ(12)が静電吸引力によって支持体に固定されていることを確認する段階とを有していることを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, G01R 27/26
