特許

J-GLOBAL ID：200903006301369658

電子線描画装置

発明者： 加藤 慎一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011495
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204891
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】電子線描画装置における制限絞りにおいて、絞り交換,クリーニングによる装置スループットの低下を防ぐ。【解決手段】複数枚の絞り板16、その隙間及び固定角可変機構17,18、及び絞り移動機構9からなる。

請求項（抜粋）：

電子線描画装置において、電子線をブランキングするブランキング絞りを隙間χ,角度θを持つ複数枚の板より構成しかつ電子線のブランキング方向に対し直角に配置し、その絞り位置が無段階に変え、調節できることを特徴とする電子線描画装置。

IPC (6件)：

H01J 37/09 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01J 37/09 A ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B