特許
J-GLOBAL ID:200903006307858740

塗布膜形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-249315
公開番号(公開出願番号):特開2001-070869
出願日: 1999年09月02日
公開日(公表日): 2001年03月21日
要約:
【要約】【課題】 目的とする被塗布基材の面上に液状塗布材を塗布し、塗布膜を形成するための塗布膜形成方法で、高価な塗布治具を必要とせず、各種塗布材にも対応でき、且つ、被塗布基材の面に凹凸や平坦性にバラツキがある場合にも、均一に塗布できる、塗布膜形成方法を提供する。【解決手段】 順に、(a) 開口部に液状塗布材のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で伸長部先端から、垂れ流すようにして、あるいは、伸長部の先端よりその一部を分離して、直接ないし間接的に、被塗布基材に液状塗布材を付着しながら、且つ、吐出手段を、被塗布基材に対し相対的に移動させ、被塗布基材の平面上に液状塗布材を塗布する塗布工程と、(b)塗布された被塗布基材上の液状塗布材を、レベリングするレベリング工程と、(c)レベリングされた被塗布基材上の液状塗布材を、固化する固化工程とを行う。
請求項(抜粋):
目的とする被塗布基材の面上に液状塗布材を塗布し、塗布膜を形成するための塗布膜形成方法であって、順に、(a)その一部または全体を電極として配置したオリフィス、ノズル等の開口部を、塗布幅に対応して、複数個、所定のピッチでほぼ直線的に並べて有し、且つ、液状塗布材を充填し、液状塗布材を前記開口部から吐出する吐出手段を用い、必要に応じて吐出手段内の液状塗布材に圧力をかけ、開口部に液状塗布材のメニスカスを形成し、各開口の電極を介して吐出手段の各開口部と被塗布基材間に第1の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部に液状塗布材のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で伸長部先端から、垂れ流すようにして、あるいは、伸長部を形成した状態で、更に、前記各開口の電極を介して吐出手段の各開口部と被塗布基材間に第2の所定電圧値以上のパルス電圧を印加することにより、伸長部の先端よりその一部を分離して、直接ないし間接的に、被塗布基材に液状塗布材を付着しながら、且つ、吐出手段を、被塗布基材に対し相対的に移動させ、被塗布基材の平面上に液状塗布材を塗布する塗布工程と、(b)塗布された被塗布基材上の液状塗布材を、レベリングするレベリング工程と、(c)レベリングされた被塗布基材上の液状塗布材を、固化する固化工程とを、行うことを特徴とする塗布膜形成方法。
IPC (4件):
B05D 1/30 ,  B05B 1/02 102 ,  B05C 5/00 101 ,  B41J 2/01
FI (4件):
B05D 1/30 ,  B05B 1/02 102 ,  B05C 5/00 101 ,  B41J 3/04 101 Y
Fターム (22件):
2C056FC06 ,  4D075AC02 ,  4D075AC09 ,  4D075AC12 ,  4D075AC51 ,  4D075AC88 ,  4D075BB24Z ,  4D075BB46Z ,  4D075BB81Y ,  4D075DA04 ,  4D075EA05 ,  4F033AA01 ,  4F033BA03 ,  4F033CA05 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F041AA12 ,  4F041AB01 ,  4F041BA07 ,  4F041BA12 ,  4F041CA04 ,  4F041CA21

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