特許
J-GLOBAL ID:200903006309373760
疵検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉信 興
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-002055
公開番号(公開出願番号):特開平8-189905
出願日: 1995年01月10日
公開日(公表日): 1996年07月23日
要約:
【要約】【目的】 表面疵検出の信頼性の向上。【構成】 センサからの出力信号より、無疵部地合信号の信号レベルの標準偏差を演算し、該標準偏差に対してある一定の倍率を乗した値を該無疵部地合信号の平均値に加算もしくは減算してしきい値を定め、このしきい値でセンサ出力信号の2値化処理を行い欠陥を判定する。
請求項(抜粋):
センサ部からの信号に対し、疵部の信号を無疵の地合部分の信号から弁別する回路をもつ疵検査装置において、センサからの出力信号より、無疵部地合信号の信号レベルの標準偏差を演算し、該標準偏差に対してある一定の倍率を乗した値を該無疵部地合信号の平均値に加算もしくは減算することによって決定されるしきいレベルをもって2値化処理を行い欠陥を判定することを特徴とする疵検査装置。
IPC (4件):
G01N 21/89
, G06T 7/00
, G06T 5/00
, G01N 21/88
FI (2件):
G06F 15/62 400
, G06F 15/68 320 Z
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