特許

J-GLOBAL ID：200903006318312277

放射線感応性樹脂組成物

発明者： 伊東 敏雄 ,  坂田 美和
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158387
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003823
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】 deepUV光や電子線などをはじめとする放射線に対し、従来よりも高い感度を有する新規な放射線感応樹脂組成物を提供すること。【構成】 樹脂としてのポリ(ヒドロキシスチレン)の部分アリルエーテル(エーテル化率50%)0. 5g、酸発生剤としてのトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート35mgを酢酸メトキシエチル3mlに溶解し、メンブレンフィルタで濾過してレジスト液を調製する。

請求項（抜粋）：

エーテル化率が5〜60%の範囲にあるポリ(ヒドロキシスチレン)の部分2-アルケニルエーテルと、放射線の作用により酸を発生する酸発生剤とからなることを特徴をする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027