特許
J-GLOBAL ID：200903006320019480
プラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180678
公開番号（公開出願番号）：特開平8-020879
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 アルミナ溶射の絶縁層を持つ従来のプラズマ処理装置は、チャンバと電極の間で異常放電が起こることがある。また隣接する予備室に通ずる経路の存在のために、チャンバ空間の非対称性が生ずる。これがためにプラズマの空間的な分布が偏る事がある。これを解決するのが目的である。【構成】 自立した絶縁板を用いてチャンバの内壁を覆う。一部は壁面に固定した固定絶縁板である。他の一部は経路を開閉できるように昇降変位できる可動絶縁板である。可動絶縁板が経路を塞ぐ時は、チャンバの空間が対称になりプラズマの分布が回転対称になる。
請求項（抜粋）：
真空に引く事のできる真空チャンバと、真空チャンバにプラズマにするべきガスを導入するガス導入機構と、真空チャンバの上方に真空チャンバと絶縁されて設けられる複数枚の上部電極と、真空チャンバの下方に真空チャンバと絶縁されて設けられその上に基板を戴置するべき下部電極と、上部電極に第1の高周波を印加する第1の高周波電源と、上部電極のそれぞれに位相の異なる高周波電力を与えるための移相器と、下部電極に第2の高周波を印加するための第2高周波電源と、隣接する予備室に通じる経路を開閉するゲートバルブと、真空チャンバの内壁に固定され真空チャンバの内壁を覆う1mm以上の厚みを有する平滑表面の固定絶縁板と、厚みが1mm以上であって平滑表面を持ち前記経路を覆い或いは開く事ができるように上下方向に平行移動できる筒状の可動絶縁板と、可動絶縁板を駆動する駆動機構とを含み、可動絶縁板によって経路を塞いだ状態で、高周波電力を上部電極と、下部電極に印加し、プラズマを発生させるようにし、下部電極に置いた基板にプラズマ処理を施し、可動絶縁板を平行移動して経路を開いた状態で、基板を交換するようにしたことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (5件)：
C23F 4/00
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
