特許

J-GLOBAL ID：200903006328398684

研磨方法及び研磨装置

発明者： 井谷 直毅
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118364
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277159
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 単一の定盤にて最終研磨まで行い得ると同時に、装置のコンパクトを有効に実現する研磨方法及びその装置を提供する。【解決手段】 保持具5に保持された被研磨物Wと定盤4との間に研磨布10を介在させながら、被研磨物Wの表面Waを研磨してその平坦な表面形状を形成する。定盤4に設けた硬質研磨布12で研磨を行う第1の研磨工程と、第1の工程終了後、定盤4に設けた軟質研磨布11で仕上げ研磨を行う第2の研磨工程を有する。1つの定盤4にて主研磨及び仕上げ研磨を効率的且つ適正に行うことができる。装置のコンパクト化を実現する。

請求項（抜粋）：

保持具に保持された被研磨物と定盤との間に研磨布を介在させながら、前記被研磨物の表面を研磨してその平坦な表面形状を形成するようにした研磨方法であって、前記定盤に設けた硬質研磨布で研磨を行う第1の研磨工程と、第1の工程終了後、前記定盤に設けた軟質研磨布で仕上げ研磨を行う第2の研磨工程を有することを特徴とする研磨方法。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B24B 1/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/00 C ,  B24B 1/00 A ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 M