特許
J-GLOBAL ID：200903006335203023
半導体装置の電気的特性検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120318
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312902
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ段階および完成品段階双方の検査を共用化する。【構成】 ウエハプローバ10のプローブボード11はICが多数個作り込まれたウエハ3にプローブ針12群を接触させることにより各ICに順次電気的に接続させて行くように構成され、プローブボード11には一端がプローブ針12群に電気的に接続されたボード側コネクタ15が設けられている。ボード側コネクタ15に着脱自在に装着される治具側コネクタ33を有する治具30が用意される。治具30にはオートハンドラ20において完成品IC4が着脱自在に装着されて電気的に接続されるソケット34が設備され、ソケット34の端子群は治具側コネクタ33に電気的に接続されている。さらに、治具30にはオートハンドラ20において、ソケット34とテスタ2とを電気的に接続させるためのソケット側コネクタ35が設けられている。
請求項（抜粋）：
電気的特性を測定するために半導体装置と交信し、その交信に基づいて半導体装置の良不良を判定するとともに、各種の指令を出力する測定装置と、被検査物である半導体装置と測定装置とを電気的に順次接続させて行き、測定装置の良不良の判定に従って指定された処理を半導体装置に実施する少なくとも2種類の作業装置とを備えている半導体装置の電気的特性検査装置において、前記作業装置のうち一方の作業装置は、前記半導体装置が多数個作り込まれた半導体ウエハにプローブ針群を接触させることにより、測定装置に各半導体装置を順次電気的に接続させて行くプローブボードを備えており、このプローブボードには一端が前記プローブ針群に電気的に接続されているボード側コネクタが設けられており、他方、ボード側コネクタに着脱自在に装着される治具側コネクタを有する治具が用意され、この治具には前記作業装置の他方において前記半導体装置が着脱自在に装着されて電気的に接続されるソケットが設備されているとともに、このソケットの端子群は治具側コネクタに電気的に接続されており、さらに、治具には前記作業装置の他方において、ソケットと前記測定装置とを電気的に接続させるためのソケット側コネクタが設けられていることを特徴とする半導体装置の電気的特性検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 1/073
, H01L 21/66
