特許

J-GLOBAL ID：200903006335402000

液晶ディスプレイ用の電極・配線材及びスパッタリングターゲット

発明者： 徳田 一朗 ,  萩原 淳一郎 ,  筒井 努
出願人/特許権者： 真空冶金株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267700
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093862
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 抵抗値が低い(≦10μΩ・cm)と共にヒロックの発生も抑制された、液晶ディスプレイ用の電極・配線材を提供すること、及びかかる液晶ディスプレイ用の電極・配線材を製作するために用いる、Al合金中のNd含有量の少ないスパッタリングターゲットを提供すること【解決手段】 合金成分として0.5〜1.0at%のNdを含有し、且つ、酸素含有量が100ppm以下であり、残部がAl及び不可避的不純物であるAl合金からなる液晶ディスプレイ用の電極・配線材、及び該電極・配線材を製作するための同じAl合金からなるスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

合金成分として0.5〜1.0at%のNdを含有し、且つ、酸素含有量が100ppm以下であり、残部がAl及び不可避的不純物であるAl合金からなることを特徴とする液晶ディスプレイ用の電極・配線材。

IPC (3件)：

H01L 21/285 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343

FI (3件)：

H01L 21/285 S ,  C23C 14/34 A ,  G02F 1/1343

Fターム (21件)：

2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA05 ,  2H092MA22 ,  2H092NA25 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  4K029BA23 ,  4K029BD00 ,  4K029DC04 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD78 ,  4M104GG08 ,  4M104GG20 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16