特許

J-GLOBAL ID：200903006340328462

試料搬送装置

発明者： 土坂 新一 ,  茨木 秀文
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241529
公開番号（公開出願番号）：特開平9-086655
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】小型で安価な構成とし、且つ搬送動作の制御が容易でカセットと載置台との間での試料の搬送に要するタクトタイムをでき得る限り短縮する。【解決手段】エベレーション機構により上下動する、複数の半導体ウエハ22を一定間隔Pに段状に収納したワークカセット21と、上記カセット22から離れた位置で上記半導体ウエハ22を載置する、少なくとも上下動可能な検査台23と、上記カセット21から上記半導体ウエハ22を吸着して上記検査台23まで搬送するローダアーム25と、このローダアーム25から下方向に上記一定間隔Pをあけて配設され、上記検査台23から上記半導体ウエハ22を吸着して上記カセット21まで搬送するアンローダアーム27とを具備する。

請求項（抜粋）：

複数の薄板状試料を一定間隔に段状に収納したカセットを上下動させるエレベーション手段と、上記カセットから離れた位置で上記試料を載置する、少なくとも上下動可能な載置台と、上記カセットから上記試料を吸着して上記載置台まで搬送する第1のアームと、この第1のアームから上下いずれかの方向に上記一定間隔をあけて配設され、上記載置台から上記試料を吸着して上記カセットまで搬送する第2のアームとを具備したことを特徴とする試料搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 47/90 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 47/90 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 D ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 B