特許

J-GLOBAL ID：200903006341394035

真空アーク蒸発源

発明者： 細川 佳之 ,  黒川 好徳 ,  熊切 正
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008303
公開番号（公開出願番号）：特開2002-212711
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 磁力線を蒸発面に対してより平行にしてアークスポットの周回速度を効率的に増加させる。【解決手段】 蒸発物質4の蒸発面4aに平行な成分を有する磁力線を発生する磁場発生源6を備えたアーク蒸発源において、前記磁場発生源6は、前記蒸発面4aの略中央位置に配置された中央磁極部8と前記蒸発物質4の外周を囲むように配置された外周磁極部9とを備え、前記蒸発面4aにおいて前記中央磁極部8と前記外周磁極部9との間で放射状に延びる磁力線を発生するように前記中央磁極部8と前記外周磁極部9とは異種磁極とされている。

請求項（抜粋）：

蒸発物質(4)の蒸発面(4a)に平行な成分を有する磁力線を発生する磁場発生源(6)を備えたアーク蒸発源において、前記磁場発生源(6)は、前記蒸発面(4a)の略中央位置に配置された中央磁極部(8)と前記蒸発物質(4)の外周を囲むように配置された外周磁極部(9)とを備え、前記蒸発面(4a)において前記中央磁極部(8)と前記外周磁極部(9)との間で放射状に延びる磁力線を発生するように前記中央磁極部(8)と前記外周磁極部(9)とは異種磁極とされていることを特徴とする真空アーク蒸発源。

Fターム (2件)：

4K029CA03 ,  4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平3-500469
  
• 特開昭55-148770
  
• 特開平3-158462