特許

J-GLOBAL ID：200903006343069026

共焦点走査型光学顕微鏡及びこの顕微鏡を使用した測定方法

発明者： 山本 満則
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-220668
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061720
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】観察面の形状が連続的に変化し、且つ観察面の反射率が形状に依存して大きく異なるような観察試料でも、形状が変化する境界部分を確実に検出し、常に正確な形状測定を行なう。【解決手段】試料8 による反射光を受光してその受光強度に応じた検出信号を出力する光検出器13と、この光検出器13からの検出信号の信号レベルを可変するゲイン調整回路33とを備えた共焦点走査型光学顕微鏡において、上記光検出器13の検出信号の信号レベルが予め設定されている適正範囲にあるか否かを判断するレベル判定回路31と、このレベル判定回路31により検出信号の信号レベルが予め設定されている適正範囲外であると判断した場合に上記ゲイン調整回路33の利得を可変制御して該信号レベルが予め設定されている適正範囲内となるように調整するCPU30とを備える。

請求項（抜粋）：

試料に対し集束光を照射する対物光学系と、上記集束光と上記試料とを相対的に二次元方向へ移動走査する二次元走査手段と、上記対物光学系の焦点位置と上記試料の位置とを相対的に光軸方向へ移動走査する光軸走査手段と、上記集束光の上記試料による反射光を受光してその受光強度に応じた検出信号を出力する光検出手段と、この光検出手段から出力された検出信号の信号レベルを可変する可変利得形レベル可変手段とを備えた共焦点走査型光学顕微鏡において、上記光検出手段からの検出信号の信号レベルが予め設定されている適正範囲にあるか否かを判断する判断手段と、この判断手段により検出信号の信号レベルが予め設定されている適正範囲外であると判断した場合に上記可変利得形レベル可変手段の利得を可変制御して該信号レベルが予め設定されている適正範囲内となるように調整する利得制御手段とを具備したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/30 Z