特許
J-GLOBAL ID：200903006358254652
振動式センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026751
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223667
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 安定に振動を継続することができるように改良された振動式センサを提供するにある。【構成】 少なくとも一端が絶縁性の固定部材を介して電極面に所定の初期間隔で対向して固定された振動子と、この振動子の少なくとも先の電極面に対向する側に形成された所定厚みの絶縁膜と、この振動子と先の電極面との間に印加される直流のバイアス電圧とを有し、先の絶縁膜の厚さと先の初期間隔と先の振動子の電極面への吸着最小電圧との関係で決定される制限電圧以下に先のバイアス電圧の大きさを保持するように選定した振動式センサである。
請求項（抜粋）：
少なくとも一端が絶縁性の固定部材を介して電極面に所定の初期間隔で対向して固定された振動子と、この振動子の少なくとも前記電極面に対向する側に形成された所定厚みの絶縁膜と、この振動子と前記電極面との間に印加される直流のバイアス電圧とを有し、前記絶縁膜の厚さと前記初期間隔と前記振動子の電極面への吸着最小電圧との関係で決定される制限電圧以下に前記バイアス電圧の大きさを選定したことを特徴とする振動式センサ。
引用特許：
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