特許

J-GLOBAL ID：200903006358486081

フォトレジスト用現像液

発明者： 神田 隆 ,  近藤 正樹
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-382220
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195518
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】新規なフォトレジスト用現像液の提供。【解決手段】アルカリビルダー、ホスホン酸またはホスフェートであるフッ素非含有界面活性剤、およびフッ素含有界面活性剤とを含む、フォトレジスト用現像液。

請求項（抜粋）：

アルカリビルダー、ホスホン酸またはホスフェートであるフッ素非含有界面活性剤、およびフッ素含有界面活性剤とを含む、フォトレジスト用現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/32 ,  H01L 21/30 569 E

Fターム (8件)：

2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA20 ,  2H096GA08 ,  2H096GA09 ,  2H096GA11 ,  5F046LA12