位相干渉顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056325
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253892
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】正確な合焦位置を見つけ容易にXYZ方向の高分解能が得られる位相干渉顕微鏡を得ることにある。【解決手段】レーザ光を2分割するハーフミラー2と、2で分割された光の一方を試料4に照射する第1のレンズ3と、2で分割された光の他方を反射させる平面ミラー7と、2で2分割された光の他方を7に照射する第2のレンズ6と、3から入射する光の入射方向に4を移動させるZ軸移動手段16と、4の移動距離を測定するZ測距手段17と、7と4の反射光により得られる干渉光の強度を検出する光検出器5と、5により検出された干渉光の強度から7の反射光と4の反射光の位相を演算する位相演算手段9,14と、9,14により演算した位相に基づき4の合焦位置を検出し、該検出した合焦位置に対応して16の移動指令として与える合焦検出手段9,15を具備した位相干渉顕微鏡。

請求項（抜粋）：

一定の波長でコヒーレントな光を発生する光源と、前記光源から発生した光を2分割する光分割手段と、前記光分割手段で2分割された光の一方を試料面に照射する第1のレンズと、前記光分割手段で2分割された光の他方を反射させる基準ミラーと、前記光分割手段で2分割された光の他方を前記基準ミラーに照射する第2のレンズと、前記第1のレンズから入射する光の入射方向に前記試料を移動させるZ軸移動手段と、前記基準ミラーと前記試料の反射光により得られる干渉光の強度を検出する干渉光検出手段と、前記干渉光検出手段により検出された干渉光の強度から前記基準ミラーの反射光と前記試料の反射光の位相を演算する位相演算手段と、前記位相演算手段により演算した位相に基づき前記試料の合焦位置を検出し、該検出した合焦位置に対応して前記Z軸移動手段の移動指令として与える合焦検出手段とを具備した位相干渉顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/14 , G02B 21/00 , G02B 21/06

FI (3件)：

G02B 21/14 , G02B 21/00 , G02B 21/06

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