特許
J-GLOBAL ID:200903006362846076
画像処理応用装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 幸彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-257285
公開番号(公開出願番号):特開2002-075262
出願日: 2000年08月28日
公開日(公表日): 2002年03月15日
要約:
【要約】【課題】顕微鏡装置においてフォーカス合わせのために何回も画像データを取り込まなくてはならない。一旦フォーカスを合わせた後、その使用中に装置状態の経時変化によってフォーカス状態が変わる。本発明は、このようなときに、最小限の画像取得回数で自動的にフォーカス補正ができる装置を提供する。【解決手段】装置にあらかじめ画像劣化量のフォーカスパラメーター依存性を記憶させておく。はじめにジャストフォーカス状態で試料の基準画像信号を取得し、その基準画像信号と前記の劣化量のパラメーター依存性から相関長のパラメーター依存特性を算出し記憶する。フォーカス補正時に、劣化画像信号から得た相関長と前記の相関長のパラメーター依存性から、パラメーターのずれ量の候補値を2つ推定し、その推定値に基づいてパラメーターを変えてフォーカス補正を完了する。
請求項(抜粋):
試料の画像を表示画面に表示する手段と、パラメータ値の変更によってフォーカス状態を変える手段を有する画像処理応用装置であって、試料から得た基準画像信号もしくはその信号から計算される基準データを記憶する手段と、前記試料から得た劣化画像信号の自己相関関数もしくは自己相関長を算出する手段と、前記演算された自己相関関数もしくは自己相関距離と、基準画像信号もしくは基準データの照合から前記パラメータ値のずれ量推定値を算出するする推定算出手段とから成るフォーカス補正演算部と、前記算出された推定値に基づいてパラメータ値を設定変更する手段、とを具備し、前記パラメータの値を変更してフォーカス状態を自動補正することを特徴とする画像処理応用装置。
IPC (5件):
H01J 37/21
, G01N 23/225
, G02B 21/36
, G01N 1/28
, G01N 1/32
FI (5件):
H01J 37/21 B
, G01N 23/225
, G02B 21/36
, G01N 1/32 B
, G01N 1/28 G
Fターム (19件):
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001GA09
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001JA03
, 2G001JA20
, 2H052AF10
, 2H052AF13
, 2H052AF14
, 5C033MM03
, 5C033UU05
, 5C033UU06
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