特許
J-GLOBAL ID：200903006370291679
高速軸流型ガスレーザ発振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-147192
公開番号（公開出願番号）：特開平8-340140
出願日： 1995年06月14日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 振動が少なく、安定した光出力の出射方向性を持つ、小型で優れた高速軸流型ガスレーザ発振器を提供する。【構成】 放電管7と導波管6と出力鏡1と終段鏡2とからなる光共振器にレーザガスを供給する磁気軸受けを持つターボブロア3を、モータ14を内包する側を鉛直上向きに、インペラ8を内包する側すなわち吸入口を鉛直下向きにして、光学ベンチ9の上の排気ブロック11に熱交換器4を介して接続し、このターボブロア3の鉛直の回転軸16は、熱交換器4、排気ブロック11、光学ベンチ9、レーザ発振器支持部15のすべての重心軸と一致することにより、光共振器に有害な変形や振動ならびに汚染を与えることが少ない、小型の高速軸流型ガスレーザ発振器が得られる。
請求項（抜粋）：
レーザガスの流路を構成する放電管と、この放電管においてレーザガスを励起する電源と、出力鏡と終段鏡とからなる光共振器と、出力鏡と終段鏡の少なくとも一方を支持しかつ前記放電管の一端を支持するメインブロックと、前記放電管の他端を支持しかつレーザガスを排気する排気ブロックと、前記それぞれのメインブロックと排気ブロックを支持する光学ベンチと、光学ベンチに設置して前記放電管内にレーザガスを供給するターボブロアとを備えた高速軸流型ガスレーザ発振器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 Z
, H01S 3/03 L
