安定化格子を有する同調型レーザ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-555167
公開番号（公開出願番号）：特表2003-521129
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：

【要約】レーザに対するライン尖鋭化モジュールは、プリズム・ビーム伸張器と、熱シンクに好ましくは取り付けられた格子とを含む。不活性ガスで充填された圧力制御されたエンクロジャーは、格子及び/或はライン尖鋭化モジュールの他の要素を封止する。エンクロジャー内の圧力は波長と同調するように調整される。好ましくは圧力はエンクロジャーへ通ずる不活性ガスの流れを制御することによって制御される。ポンプ或は過度の圧力流が使用され得る。代替的にはビーム伸張器のプリズム或はエタロンが波長と同調するために回転可能であり得る。

請求項（抜粋）：

分子弗素を含むガス混合物で充填された放電チャンバーと、前記ガス混合物を励起するパルス放電回路に接続された、前記放電チャンバー内の複数の電極と、 1対の共振器反射面、前記放電チャンバー、並びに、ライン尖鋭化モジュールを含むレーザビームを発生する共振器とを備えるエキシマ或は分子弗素レーザであって、前記ライン尖鋭化モジュールが、ビームを伸張して、該ビームの発散を低減するための1つ或はそれ以上の光学的要素を含むビーム伸張器と、熱シンクと結合された反射格子であり、前記伸張されたビームを受け、このビームを分散させてこの分散時に前記共振器の受容角度内に残存する前記ビームの帯域幅を低減させ、前記熱シンクがビーム吸収によって生ずる熱を除去するようにした当該反射格子とを含んでいるレーザ。

IPC (4件)：

H01S 3/137 , H01L 21/027 , H01S 3/134 , H01S 3/225

FI (4件)：

H01S 3/137 , H01S 3/134 , H01S 3/223 E , H01L 21/30 527

Fターム (15件)：

5F046CA03 , 5F046CA04 , 5F071AA04 , 5F071AA06 , 5F071JJ05 , 5F071JJ10 , 5F072AA04 , 5F072AA06 , 5F072JJ06 , 5F072JJ13 , 5F072KK07 , 5F072KK18 , 5F072RR05 , 5F072SS06 , 5F072YY09

前のページに戻る