特許
J-GLOBAL ID：200903006372007722
プラズマアドレス電気光学装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128259
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297810
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 プラズマアドレス電気光学装置の液晶層厚みを均一に制御する。【構成】 プラズマアドレス電気光学装置は液晶セルとプラズマセルを薄板ガラスで仕切った構造を有する。薄板ガラスはプラズマセル基板上に形成されたプラズマ電極を下地とする隔壁によって支えられている。このプラズマ電極及び隔壁の積層構造を形成する為にまず導電ペーストと誘電体ペーストを重ねてベタ印刷する。焼成した後誘電体層表面を平滑研磨する。次に導電層と誘電体層に対して一括して選択的なサンドブラストエッチを行ない平坦且つ均一な高さを有する隔壁を得る。
請求項（抜粋）：
所定の主面に沿って互いに平行に配置された複数の第1電極を有する第1の基板と、前記第1電極と直交し且つ互いに平行に設けられた複数の第2電極とこの第2電極を構成する導電体上に重ねて形成された誘電体からなる隔壁とを有するとともに前記第1の基板と対向する様に配置された第2の基板と、前記第1及び第2の基板間に間挿された電気光学材料層と、前記第1電極と反対側において前記電気光学材料層と接面する様に設けられた薄板ガラスと、この薄板ガラスと前記第2の基板間に設けられたイオン化可能なガスを封入する為のプラズマ室とを備えたプラズマアドレス電気光学装置の製造方法において、前記導電体を印刷形成した後、誘電体を前記導電体上に印刷し、この誘電体に対して研磨及びサンドブラストエッチングを施す事によって頂面が平滑で且つ一定の高さを有する隔壁を形成した事を特徴とするプラズマアドレス電気光学装置の製造方法。
IPC (2件)：
G09F 9/35 395
, G02F 1/1345
