特許
J-GLOBAL ID:200903006379576307
クリーンベンチ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
廣澤 勲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-344174
公開番号(公開出願番号):特開平11-159821
出願日: 1997年11月28日
公開日(公表日): 1999年06月15日
要約:
【要約】【課題】 作業台、カバー、ファンフィルタ装置のそれぞれがユニット化され、用途に合わせた様々な組み合わせが可能なクリーンベンチを提供する。【解決手段】 作業空間内へ供給する空気を清浄にするフィルタとこの空気を作業空間内に送風するファンとが一体的に設けられたファンフィルタユニット10を有する。このファンフィルタユニット10が、取付台18に設置されてファンフィルタ装置20を構成する。ファンフィルタユニット10の前面に形成される清浄な空間を囲むカバー24と、このカバー24が設置され、作業をするための作業台22を有する。
請求項(抜粋):
空気を供給するためのファンと、その空気を清浄にするフィルタとを有し、このファンとフィルタにより清浄な空気の作業空間を形成するクリーンベンチにおいて、上記ファンとフィルタが一体的に設けられてファンフィルタユニットを形成し、このファンフィルタユニットが取付台に一体的に設けられてファンフィルタ装置を構成し、上記作業空間を囲むカバーと、上記作業空間内に設けられた作業台とが互いに着脱自在に設けられたクリーンベンチ。
IPC (2件):
FI (2件):
F24F 7/06 C
, B01D 46/10 B
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭61-062741
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ドラフトチャンバー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-343430
出願人:株式会社イトーキクレビオ
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クリーンブース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-024917
出願人:高砂熱学工業株式会社, 日本フレクト株式会社
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