特許

J-GLOBAL ID：200903006379662912

液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置

発明者： 西村 学
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228117
公開番号（公開出願番号）：特開2004-066606
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】特性バラツキが少なく高い信頼性が得られる液滴吐出ヘッド及びその液滴吐出ヘッドの製造方法、この液滴吐出ヘッドを備えることで高画質記録が可能なインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】振動板10と電極14との間のギャップ12は電極14上に形成した犠牲層を電極14及び振動板10を形成した後に除去することにより形成した。ここで、振動板は二層以上の積層が好ましい。さらに、電極の下部に空洞を有し、ギャップと空洞が連通していることが好ましい。また電極の両面に絶縁膜を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

液滴を吐出するノズルが連通する加圧室の少なくとも1つの壁面を形成する振動板とこの振動板にギャップを介して対向する電極を備え、前記振動板を静電力で変形させることで前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と電極との間のギャップは前記電極上に形成された犠牲層を前記電極及び前記振動板形成後に除去することにより形成されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。

IPC (3件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (5件)：

2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP56 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15