特許
J-GLOBAL ID：200903006380538508
真空装置における可動部材の駆動方法および駆動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247918
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089123
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 真空装置における可動部材の駆動に際し、装置から突出する気密部および駆動部をできるだけ小さくする。【解決手段】 本発明による真空装置における可動部材の駆動方法および駆動装置は、可動部材の往復動部内に可動部材と平行して回転可能にリンクを設け、該リンクの第1支点が可動部材の溝に連結され、前記第1支点より回転支点に近い第2支点が往復動部の外部から気密状態で貫通する駆動軸に連結され、駆動軸およびリンクが往復動部の投影面積内に納まって配置される構成である。
請求項（抜粋）：
真空装置(1)内の第1空間部(1a)と第2空間部(1b)との間を往復動される可動部材(2)の駆動方法において、前記可動部材(2)の往復動平面に鉛直な軸を回転中心(C)として回転可能なリンク(3)を前記第2空間部(1b)内に往復動平面に平行して設け、前記リンク(3)の第1支点(D)が前記可動部材(2)の往復動方向に交差する方向に移動可能に可動部材(2)と連結され、前記リンク(3)の前記第1支点(D)より前記回転中心(C)に近い第2支点(E)が前記第2空間部(1b)の外部に前記往復動平面に平行して設けられるとともに第2空間部(1b)に気密状態で貫通挿入された駆動軸(4)に連結され、該駆動軸(4)が前記リンク(3)を前記回転中心(C)のまわりに回転往復駆動するとともに前記リンク(3)および前記駆動軸(4)の動作範囲が前記可動部材(2)の往復動位置の投影範囲内に納って配置されていることを特徴とする真空装置における可動部材の駆動方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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